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    经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。


    集中体现在如下几个方面：


    （1）便携式：最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。


    （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。


    （3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。


    （4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。


    （5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。


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